第四代臺式掃描電鏡是一款使用高亮度CeB6燈絲的高分辨臺式掃描電鏡。放大倍數(shù)130,000倍，用于觀察納米或者亞微米樣品的微觀結(jié)構(gòu)。PhenomPro后期可升級為同時具備顯微圖像和元素成分分析的電鏡能譜一體機PhenomProX。PhenomPro可選配所有的樣品杯選件和所有的拓展功能軟件選件?；诟吡炼菴eB6燈絲和全新的聚焦系統(tǒng)，PhenomPro的分辨率輕松達到14nm，同時具有全自動操作、15秒快速抽真空、不噴金觀看絕緣體、2-3年更換燈絲等特點。
臺式掃描電子顯微鏡（DesktopScanningElectronMicroscope,DesktopSEM）的概念是由美國FEI公司（1997年原FEI和飛利浦電子光學(xué)合并而成)提出的，并于2006年正式發(fā)布了旗下的Phenom飛納臺式掃描電鏡，而后于2009年成立Phenom-World（飛納世界）公司，專業(yè)研發(fā)并生產(chǎn)臺式掃描電鏡。第四代臺式掃描電鏡出爐以后更是賣得火熱。
第四代臺式掃描電鏡主要特點：
30秒快速成像：從放入樣品到得到SEM圖像僅需30秒，是傳統(tǒng)電鏡的1/10；
全程樣品導(dǎo)航功能：*光學(xué)圖像導(dǎo)航，點擊感興趣的區(qū)域即可輕松移動樣品；
可直接觀察不導(dǎo)電樣品：采用低真空技術(shù)，無需噴金直接觀測不導(dǎo)電樣品；
類似環(huán)境掃描電鏡的控溫測試環(huán)境：選擇控溫組件，可進行含液體樣品的冷凍觀測。
